三豐Mitutoyo三坐標代理超高精度3D測量機

Takumi型號，具有精度的超高精度數控三坐標測量機

三豐Mitutoyo三坐標代理超高精度3D測量機

主要特點

• LEGEX系列是一款超高精度CNC 3D測量機，經過分析和消除誤差因素，擁有世界高級別的精度。

• 最大允許長度測量誤差：E0,MPE=(0.23+0.7L/1000)μm，與傳統方法相比增加26%，通過利用“Takumi Meister System"培育的超高精度研磨技術和精加工技術實現精度。

• 主體底座采用精心選材，采用密封結構，實現高剛性、高阻尼性能。此外，我們使用FEM結構分析模擬進行應力分析，以確保幾何運動精度，從而最大限度地減少由于負載波動而導致的變形。此外，我們還引進了驅動裝置的結構、振動對策等多項實現超高精度的技術。

• 用于位置檢測的長度測量單元配備了超高精度長度測量單元（內部制造），該單元結合了熱膨脹系數≒0的超高精度結晶玻璃標尺和高分辨率、高精度-高性能反射式線性編碼器，具有高的位置檢測能力，可實現超高精度的機器控制。

• 為了支持對各種工件進行簡單且超高精度的測量，我們提供了多種選件，包括探頭（接觸式和非接觸式）、數據處理設備和轉臺。

規格

X軸測量范圍（mm）

500

700

700

900

Y軸測量范圍（mm）

700

700

700

1000

測量范圍Z軸（mm）

450

450

600

600

驅動速度 CNC模式 最大組合速度（自動）（mm/s）

200

200

200

200

驅動加速度（最大組合加速度）（mm/s2）

980

980

980

980

最小顯示量(mm)

0.00001

0.00001

0.00001

0.00001

引導方式（各軸）

空氣軸承

空氣軸承

空氣軸承

空氣軸承

長度測量單位

線性編碼器

線性編碼器

線性編碼器

線性編碼器

測量物體大高度（mm）

700

700

850

850

主機氣壓(MPa)

0.5

0.5

0.5

0.5

本體耗氣量(L/min)

（標準條件下）120L/min（氣源時160L/min以下）

（標準條件下）120L/min（氣源時160L/min以下）

（標準條件下）120L/min（氣源時160L/min以下）

（標準條件下）120L/min（氣源時160L/min以下）

測量臺材質

鑄鐵

鑄鐵

鑄鐵

鑄鐵

測量臺尺寸（安裝面）（mm）

550x750

750×750

750×750

950x1050

測量對象最大裝載質量（kg）

250

500

500

800

測量臺測量對象固定方式（mm）

M8x1.25

M8x1.25

M8x1.25

M8x1.25

機身質量（含隔振臺及控制器）（kg）

3500

5000

5100

6500